KJ-T1050-CVD-LZ-石墨稀、碳纳米管材料CVD设备-郑州科佳电炉有限公司手机版

详细介绍

产品介绍：
KJ-T1050-CVD-LZ型石墨稀、碳纳米管材料CVD设备由管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成，温度可以达到1050度,可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。
软件控制系统：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

应用范围：
该设备主要用于石墨稀、納米材料工艺涂层、多晶硅、碳化硅、扩散、氧化、退火等工艺。
　　　
参数详情：

产品名称	石墨稀、碳纳米管材料CVD设备
产品型号	KJ-T1050-CVD-LZ
炉型结构	卧式、单管或多管系统自动控制
适应晶片尺寸	50--200mm
取片方式	自动悬臂石英推拉舟，配合手动取、放片
温度	1050℃
极限真空度	优于1Pa
温度稳定性	400℃~850℃≦+-0.5℃/24h
抽速	抽限真空时间15min左右
供电电源	380V 50Hz 三相五线
选配	冷却水：2~4KGF/c㎡,8L/min
更多规格可根据需求定制

1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务，包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
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