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产品名称 | 石墨稀、碳纳米管材料CVD设备 |
产品型号 | KJ-T1050-CVD-LZ |
炉型结构 | 卧式、单管或多管系统自动控制 |
适应晶片尺寸 | 50--200mm |
取片方式 | 自动悬臂石英推拉舟,配合手动取、放片 |
温度 | 1050℃ |
极限真空度 | 优于1Pa |
温度稳定性 | 400℃~850℃≦+-0.5℃/24h |
抽速 | 抽限真空时间15min左右 |
供电电源 | 380V 50Hz 三相五线 |
选配 | 冷却水:2~4KGF/c㎡,8L/min |
更多规格可根据需求定制 |
1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
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