KJ-T1200-JCY-卷对卷PECVD设备-郑州科佳电炉有限公司手机版

详细介绍

产品介绍：
卷对卷式PECVD是等离子增强型化学气相沉积设备（PECVD），并加装了收放卷装置。本设备可用于线材的连续化热处理工艺中，如碳纤维制备、合金及其他材料线材改性处理等应用中。也适合用于石墨烯在卷材上的连续生长。
设备含卷对卷收放卷运动模块、1200℃双温区可开启式管式炉模块、PE等离子增强模块、真空系统以及三路质子流量计供气系统五部分，整套体系可在真空/气氛保护环境下工作。收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节，可自动纠正转速偏差，保证样品的速度稳定不走样

产品参数：

产品名称	卷对卷PECVD系统
产品型号	KJ-T1200-JCY
1200℃双温区管式炉	供电电压	AC220V，50Hz
	*大功率	3KW
	加热温区	双温区 200mm+200mm
	工作温度	≤1200℃
	控温精度	±1℃
	控温方式	AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条
	炉管材质	高纯石英
	炉管尺寸	φ80mm I.D x 1400mm L
	密封方式	不锈钢真空法兰
	真空测量	电阻规
	工作气体	氢气、氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体
	真空泵	双极旋片式真空泵
	极限真空度	10^-1Pa
三路质量流量计	阀门类型	不锈钢针阀
	气路数量	三路
	承压范围	0.05~0.3MPa
	量程	1~100 SCCM（Ar） 1~200 SCCM（H₂） 1~500 SCCM (CH₄)
	流量控制范围	±1.5%
	混气罐容积	750mL
	气路材料	304不锈钢
	管道接口	6.35mm卡套接头
	供电电源	AC220V 50Hz
S射频电源	输出功率	500W
	输出精度	±1%
	射频频率	13.56MHz
	射频稳定度	±0.005%
	冷却方式	风冷

1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务，包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

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