KJ-T1600 -3M-3通道CVD设备-郑州科佳电炉有限公司手机版

详细介绍

简单介绍：
KJ-T1600 CVD 是一种管式炉，具有 80mm 直径的氧化铝管和三通道质量流量计气体流动系统。它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。

技术参数：

产品名称		3通道CVD设备
型号		KJ-T1600 -3M
管式炉部分	显示	液晶触摸屏
	温度	1600℃
	工作温度	≤1500℃
	升温速率	0~10℃/min
	温区	300mm
	加热元件	MoSi2
	热电偶	B型
	温度控制精度	±1℃
	炉管尺寸	80x1000mm
	炉管尺寸	材质：氧化铝管
	塞砖	包括两个纤维陶瓷块，用于阻挡来自管内的热辐射（陶瓷块必须在加热前插入炉腔）。
	温度控制	PID自动控制
	真空法兰	带阀门的不锈钢真空法兰
	电源	220V, 50 Hz, 单相6KW
质量流量计（液晶触摸屏）	三台精密质量流量计： MFC 1：气体流量范围0~100 sccm MFC 2：气体流量范围0~200 sccm MFC 3：气体流量范围0~200 sccm （气体流量范围可根据您的要求）底壳安装1个气体混合罐，底壳左侧安装3个不锈钢针阀，手动控制3种气体混合
更多参数可按需定制

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