KJ-OTF-1700-F5-三温区CVD设备-郑州科佳电炉有限公司手机版

详细介绍

产品特点：
1、控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠，操作简单。
2、中真空系统具有真空度上下限自动控制功能，高真空系统采用高压强，耐冲击分子泵
防止意外漏气造成分子泵损坏，延长系统使用寿命。

产品用途：
此款三温区CVD生长系统适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。

产品详情：

名称		高温三温区CVD设备
型号		KJ-OTF-1700-F5
加热系统	显示	LED
	温度	1700℃
	工作温度	≤1600℃
	升温速率	0~15℃/min
	温区	3
	温区长度	220mm
	加热元件	MoSi2 棒
	热电偶	B型
	控温精度	±1℃
	管尺寸	80 x 1400mm
	管尺寸	材质：氧化铝
	温度控制	PID自动控制
	温控方式	30段可编程
	真空计	复合真空计
	真空法兰	带阀门和针头的不锈钢真空法兰
	电压/功率	220V, 50 Hz, 10KW
真空泵系统	真空泵组（旋片泵+扩散泵）包括 KF25、KF50 适配器、真空泵组波纹管和带轮移动柜。	冷态极限真空6.67*10-3Pa。
质量流量计（5气路）	流量范围	(20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
	准确性	±1.5 % F.S.
	重复精度	±1.5 % F.S.
	响应时间	≦10sec
	工作压差范围	0.1~0.5MPa
	耐压性	3MPa
	温度系数	零: ≤±0.2% F.S./℃; 跨度: ≤±0.2% F.S./℃
	工作环境温度	5~45℃
	输入信号	0 V ~ +5.00 V
	输出信号	0 V ~ +5.00 V
	电插头形式	DB15针（母）

1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务，包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

产品简介

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