KJ-T1200-W2-双炉体CVD设备-郑州科佳电炉有限公司手机版

详细介绍

产品介绍：
该双炉体CVD系统为定制款，适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。

产品特点：
1、控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠，操作简单。
2、气路快速连接法兰结构采用本公司的知识产权设计,提高操作便捷性。
3、中真空系统具有真空度上下限自动控制功能，高真空系统采用高压强，耐冲击分子泵
防止意外漏气造成分子泵损坏，延长系统使用寿命。

参数详情：

产品型号	KJ-T1200-W2
管式炉部分
炉体结构	双层壳体结构，配有冷风系统自动降温炉壳温度不超过45℃
炉膛材质	真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，材料保温性能好、反射率高、温场均衡
温度	1200℃
使用温度	≤1100℃
升温速度	推荐≤10℃/min，升温速度20℃/min
炉管材料	石英管
炉管尺寸	OD:50mmID:44mm 长1400mm 管子中间部位开15mm，有个堵塞可堵上
加热区长度	200mm+200mm（双炉体）
炉膛开口	每个炉膛对应开宽10mm*长80mm的孔，并可封堵
法兰	不锈钢密封法兰，拆卸方便，法兰上装有精密针阀
温控系统	温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制30段升降温程序； 1、采用PID方式调节控温，可设置30段升降温程序 2、控温精度±1ºC 3、具有过温保护、断偶保护 4、仪表具有温度自整定的功能
加热元件	合金电阻丝
测温元件	2支K型热电偶分别独立控温
工作电源	AC220V，50Hz
额定功率	4KW
进出气口	法兰上含有进出气口和精密针阀
气路系统部分
质量流量计	二路精密质量流量计：数字显示、气体流量自动控制。 MFC1 N2 范围: 0-1000 sccm MFC2 CO2范围: 0-1000 sccm 气路:2路流量精度: 0.2% 进气和出气接口: 1/4" 卡套每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。
标准配置	主机1台，流量计1套、密封法兰1对，石英管1支，密封圈4个，炉堵2个，坩埚钩1把，高温手套1副、拆卸扳手2把、说明书1份、合格证保修卡1份

1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
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5、本公司可提供运输服务，包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

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