KJ-T1300-LZ-10KS-科研型扩散氧化炉-郑州科佳电炉有限公司手机版

详细介绍

产品特点：
1、可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺
2、采用高可靠性工控机+PLC模式，对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化；
3、具有友好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态；
4、具有多种工艺管路，可供用户方便选择；
5、具有强大的软件功能，配有故障自诊断软件，可大大节省维修时间；
6、恒温区自动调整，串级控制，可准确控制反应管的实际工艺温度；
7、具有超温、断偶、热偶短路、工艺气体流量偏差报警和保护功能；
8、可根据用户要求定制产品。

应用范围：
本设备为科研型扩散氧化炉，适用于企业研发、大学及科研院所的科研与教学。可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺。

产品参数：

产品名称	科研型扩散氧化炉
产品型号	KJ-T1300-LZ-10KS
工作温度	1300℃
应用晶片尺寸	2~8英寸圆片
可配工艺管数量	1~2管/台
恒温区长度	300~600mm
恒温区精度	≤±0.5℃
温度稳定性	≤±0.5℃/24h
温度斜变能力	升温速率10℃/min，降温速率5℃/min
预警	具有超温、断偶、热偶短路、工艺气体流量偏差报警和保护功能
更多规格可根据要求来定制

1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务，包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

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