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河南*厨房空气净化车间装修郑州市食品厂
一、人流
首先是人员净化;电子厂净化车间入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室;单人空气吹淋室,应按班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门;空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施;空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室,宜设气闸室。
二、物流
电子厂净化车间内的设备和物料出入口,应独立设置,并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施;物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。
三、静压差
不同等级的电子厂净化车间之间的静压差应大于等于5Pa;洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa;洁净室与室外的静压差应大于10Pa
一、洁净室之定义
洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非*没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
如表所示,每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了无尘标准的*。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于*,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
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