球差校正扫描透射电子显微镜 HD-2700

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专用扫描透射显微镜HD-2700，配备了与德国CEOS GmbH公司(总经理Max Haider先生)共同开发的球差校正仪，显著提高了扫描透射电子显微镜的性能，更适合高级纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差，使其与标准型号显微镜相比，分辨率提高了1.5倍，同时，探针电流提高了10倍。

最近，该显微镜还配备了高分辨率镜头和冷场发射电子枪，进一步提高了图像分辨率和电子束能量分辨率。同时，该型号系列还增加了一款不带球差校正的主机配置，可以以后加配球差校正进行升级。

特点

技术指标

特点

高分辨率扫描透射电子显微镜成像

HAADF-STEM图像0.136 nm，FFT图像0.105 nm(高分辨率镜头*)

HAADF-STEM图像0.144 nm(标准镜头)

明场扫描透射电子显微镜图像0.204 nm(w/o球差校正仪)

高速，高灵敏度能谱分析：探针电流×10倍

元素面分布更迅速及时

低浓度元素检测

操作简化

自动图像对中功能

从样品制备到观察分析实现无缝连接

样品杆与日立聚焦离子束系统兼容

配有各种选购件可执行各种评估和分析操作

同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*图像。

低剂量功能*(使样品的损伤和污染程度降至)

高精度放大校准和测量*

实时衍射单元*(同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案)

采用三维微型柱旋转样品杆(360度旋转)*，具有自动倾斜图像获取功能。

ELV-3000即时元素面分布系统*(同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像)

* ：

选购件

技术指标

HD-2700球差校正扫描式透射电子显微镜

项目

描述

图像分辨率

w/o球差校正仪

保证 0.204 nm(当放大倍数为4,000,000时)

w球差校正仪

保证 0.144 nm(当放大倍数为7,000,000时)(标准镜头)

保证 0.136 nm(HAADF图像)

保证 0.105 nm(通过FFT)(当放大倍数为7,000,000时)(高分辨率镜头*)

放大倍数

100倍 至 10,000,000倍

加速电压

200 kV, 120 kV *

成像信号

明场扫描透射电子显微镜：相衬图像(TE图像)

暗场扫描透射电子显微镜：原子序数衬度图像(Z衬度图像)

二次电子图像(SE图像)

电子衍射*

特征X射线分析和面分布(能谱分析)*

电子能量损失谱分析和面分布(EV3000)*

电子光学系统

电子源

肖特基发射电子源

冷场致发射器*

照明透镜系统

2-段聚光镜镜头

球差校正仪*

六极镜头设计

扫描线圈

2-段式电磁感应线圈

原子序数衬度收集角控制

投影镜设计

电磁图像位移

±1 µm

试片镜台

样品移动

X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm

样品倾斜

单轴-倾斜样品杆：±30°(标准镜头), ±18°(高分辨率镜头*)

真空系统

3个离子泵，1个TMP

极限真空

10

-8

Pa(电子枪), 10

-5

Pa(样品室)

图像显示

个人电脑／操作系统

PC/AT兼容, Windows

®

XP

监视器

19-inch液晶显示器面板

图像帧尺寸

640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素

扫描速度

快扫，慢扫(0.5至320秒/帧)

自动数据显示

记录序号，加速电压，下标尺，日期，时间

*

选购件

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