透射电子显微镜 H-9500

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原子分辨率300 kV透射电子显微镜

在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体，材料的研发领域，原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的，的工具。

为了满足这种需求，日立公司研发出了 H-9500透射电子显微镜，此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能，而且配置了很多满足客户多种需求的功能，并采用了的数字技术，便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。

特点

规格

特点

用户友好型的操作系统

和Windows

®

兼容的图形用户界面设计

快速的样品分析，1分钟换样，5分钟内升高压至(300 kV)

高稳定性，高分辨率透射电子显微镜

高稳定性，高分辨率透射电子显微镜

点分辨率为0.18 nm，晶格分辨率为0.1 nm

稳定可靠的5轴优中心测角台

性能优异，可靠性高

性能优异，可靠性高

得到市场验证的10级加速器电子枪设计

阻抗式高压电缆设计

高档可选附件

高档可选附件

通用样品杆，在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系统均可使用

可为原子分辨率的动态研究提供加热，冷却和气体注入等多种样品杆

备注：FPD(平板显示器)上的图像为模拟图像。

规格

项目

说明

分辨率

0.10nm(晶格分辨率)

0.18nm(点分辨率)

加速电压

300kV、200kV

*1

、100kV

*1

放大倍率

连续放大模式

1,000～1,500,000×

选区模式

4,000～500,000×

低倍模式

200～500×

电子枪

灯丝

LaB

6

(六硼化镧灯丝，直流加热)

灯丝交换

自动升降式电子枪

高压电缆

阻抗电缆

照射系统

透镜

四级透镜

聚光镜光阑

4孔可变

探针尺寸

微米束模式：0.05 - 0.2 µm(4级)

纳米束模式：1 - 10 nm(4级)

电子束倾斜

±3°

成像系统

透镜

五级透镜

聚焦

图像摇摆调整

利用像散监视器进行正焦补偿

聚焦优化

物镜光阑

4孔可变光阑

选区光阑

4孔可变光阑

电子衍射

选区电子衍射

纳米探针电子衍射

会聚束电子衍射

相机长度

250 - 3,000 mm

样品室

样品台

5轴优中心海帕测角台

样品尺寸

3mmΦ

样品位置追踪

X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm

通过CPU控制马达驱动

样品位置显示

自动驱动，自动跟踪

样品倾斜

α = ±15°, β = ±15°

(日立双倾样品台

*2

)

防污染

冷阱

烘烤功能

中温烘烤功能

观察室

荧光屏

主屏：110 mmΦ

聚焦屏：30 mmΦ

目镜

7.5×

照相室

区域选择

整张照相/半张曝光

胶片

25张(2套胶片盒)

图形用户界面

操作系统：Windows XP

®

显示器

19英寸显示器

功能

数据库，测量，图像处理

数码CCD 相机

*3

相机耦合

透镜耦合

有效像素

1,024 × 1,024 像素

A/D 分辨率

12位

真空系统

电子枪

离子泵：60 L/s

镜筒

涡轮分子泵：260 L/s

观察室/照相室

扩散泵：280 L/s

前级泵：135 L/min × 3台

*1

：放大倍率校准为可选项

*2

：可选件

*3

：本规格适用于可选的1,024 × 1,024像素的数码CCD相机

以上规格是在加速电压为300 kV时的承诺

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TEM/SEM样品的前处理装置