球差场发射透射电子显微镜 HF5000

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200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空间分辨率和倾斜、分析性能

通过单极片实现0.078 nm的STEM空间分辨率和高样品倾斜度、高立体角EDX。

透射电子显微镜除了延续了日立公司配备的具有扫描透射电子显微镜“HD-2700”的球面像差校正器的功能、自动校正功能，像差校正后的SEM图像和对称Dual SDD技术等特点。还融汇了透射电子显微镜HF系列中所积累的技术。

对于包括用户在内的广泛用户，我们提供亚Å级空间分辨率和高分析性能以及更多样化的观察和分析方法。

※

附带第二显示器（可选），显示屏为嵌入式合成界面。

特点

规格

特点

标配日立生产的照射系统球差校正器（附自动校正功能）

搭载具有高辉度、高稳定性的冷场FE电子枪

镜体和电源等的高稳定性使机体的性能大幅度提升

观察像差校正SEM/STEM图像的同时观察原子分辨率SE图像

采用侧面放入样品的新型样品台结构以及样品杆

支持高立体角EDX

*

的对称配置（对称Dual SDD

*

）

采用全新构造的机体外壳盖

配备日立生产的高性能样品杆

*

*

选项

高辉度冷场FE电子枪×高稳定性×日立制球面像差校正器

以长年积累起来的高辉度冷场FE电子源技术为基础，进行优化，进一步实现电子枪的高度稳定性。

此外，还更新了镜体，电源系统和样品台，以支持观察亚Å图像，并提升了机械和电气稳定性，然后与日立公司的球差校正器结合使用。

不仅可以稳定地获得更高亮度更精密的探头，而且自动像差校正功能可以实现快速校正，从而易于发挥设备的固有性能。使像差校正可以更实用。

Si（211）单晶体HAADF-STEM图像（左）和图像强度曲线分布（右下）、FFT功率谱（右上）

支持高立体角EDX

*

的对称Dual SDD

*

支持双重配置100 mm

2

SDD检测器，以实现更高的灵敏度和处理能力进行EDX元素分析。

由于第二检测器位于检测器的对面位置，因此，几乎不会因为样品倾斜，导致X射线中的信号检测量发生变化。所以，即使是结晶性样品，也不用顾忌信号量，可按照样品的方向与位置进行元素分析。

此外，对于电子束敏感样品、低X光辐射量的样品，除了原子列映射，在低倍、广视野的高精细映射等领域也极为有效。

GaAs（110）的原子柱EDX映射

像差校正SEM图像/STEM图像　同时观察

配有标配二次电子检测器，可同时观察像差校正SEM/STEM图像。通过同时观察样品的表面和内部结构，可以掌握样品的三维构造。

在像差校正SEM图像中，除了可以通过校正球差来提高分辨率之外，还可以获取更真实地样品表面图像。

Au/CeO

2

催化剂的SEM/ADF-/BF-STEM图像（上段）和Au粒子的高分辨率图像（下段）

规格

主要规格

项目

内容

电子源

W（310）冷阴极场发射型

加速电压

200 kV、60 kV

*1

图像分辨率

STEM

0.078 nm（ADF-STEM图像）

TEM

0.102 nm（晶格像）

倍率

STEM

×20～×8,000,000

TEM

×100～×1,500,000

样品微动

样品台

偏心测角仪（Eucentric Goniometer）5轴样品台

样品尺寸

3 mm Φ

移动范围

X, Y＝±1.0 mm，Z=±0.4 mm

样品倾斜

α＝±25°、β＝±35°（日立2轴倾斜样品杆

*1

）

像差校正器

配有日立照射系统球面像差校正器（标配）

图像显示

PC

Windows

®

7

*2

显示器

27英寸宽屏液晶显示器（机体控制显示器、第二显示器

*1

）

摄像头

标配伸缩式摄像头

屏幕摄像头

*1

（用于荧光板观察）

机体尺寸/重量

项目

宽度×进深×高度（mm）

重量（kg）

镜体（含电子枪）

1,060×1,742×2,970

1,940

机体外壳盖

1,678×1,970×3,157

429

操作台

1,400×819×740

132

扩展操作台

*1

580×819×740

53

FE槽

1,041×840×1,317

482

V0槽

398×630×1,046

164

控制电源

1,400×693×816

173

像差校正器电源

606×529×1,096

81

排气系统电源

913×663×1,790

378

转向系统电源

913×663×1,790

394

配重块

280×130×130

23

Gatan控制器

*1

*3

576×648×1,173

150

冷却水控制装置

470×540×350

25

冷却水循环装置

*1

*3

970×970×1,064

95

干式泵

*1

252×400×336

23

空压机

*1

275×560×576

25

安装条件

项目

内容

室温

15～23℃（温度变化：0.2℃/h以内）

湿度

40～60% RH

电源

机体

单相AC200～240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA

断路器容量 50 A

冷却水循环装置

*1

*3

三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A

接地

D种接地（100 Ω以下）

冷却水

水量

5.1～5.3 L/min 1系统、2.0～2.2 L/min 1系统

（水压0.25 MPa）

水温

16～18℃（变动：±0.1℃以内）

气体

SF

6

99.9%以上、180 k～200 kPa

干氮

99.9%以上、0～100 kPa

压缩空气

600 k～800 kPa

购买之前，请设置预定安装处测量振动、磁场和噪声，如果超过容许值，请务必另行咨询。

关于容许值，请另行咨询。

备注

*1：选项。*2：Windows是在美国以及其他国家的注册的美国Microsoft Corp.商标。*3：规格、尺寸均根据厂家、型号和配置的不同而会有所不同。

布局示例

※使用上述配置(包含维护工具），整体设备总重量约为5,000kg。

※请检查地面强度（kg/m

2

）＞3×设备总重量（kg）/占地面积（m

2

）。

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