真空阀是真空系统中使用的真空组件，用于打开和关闭气流，调节气流或分配气流。 所有真空系统和真空设备均配备有真空阀，以通过真空管将真空泵连接至抽气系统，或使用真空阀连接各个真空室以实现特定的过程。通常，真空系统是根据 真空过程。 要求，要选择不同类型的真空阀，例如真实的空气压力表校准和直接的空气泵抽气速度测量，您需要配置一个高精度的微真空排气室，以调节系统的真空度。

为了给真空室或油封机械泵放气，只能使用真空放气阀来满足需要。 泵送的容器使用直角管和连接到真空泵的真空泵系统进行维护。 可以使用直角阀代替弯管。 电动阀和气动阀可用于自动控制真空系统中，而手动阀通常用于简单的真空泵系统中。灯泡空气阀与行业中其他常用阀不同，大的特点是泄漏率高 很高。 频繁打开和关闭阀板有可能引起密封元件表面的磨损并引起泄漏，特别是对于带有金属密封的超高真空阀。 这个问题更加严重。 因此，阀材料的选择非常重要。 另外，真空阀还要求对气体的阻力小（即，尽可能大的电导），传动部件的轻便灵活的操作以及易于清洁和安装； 密封件的耐磨性更好，可重复使用，使用寿命长。

  金属真空阀的阀体和传动部分主要是钢，铝，铜等金属材料，手动读门的驱动手轮和阀体外部的次要部件可以用高强度塑料制成。 通常称为玻璃真空系统。 玻璃阀的优点是易于制造，易于使用，易于清洁和观察，玻璃具有良好的化学稳定性和绝缘性，并且气体排放比金属低得多。 密封主要依靠真空润滑脂，因此没有磨损问题，因此密封可靠且寿命长。 缺点是玻璃的脆性，这会影响其使用范围

  在所有真空系统中，真空阀存在多的问题。 特别是，超高真空系统中使用的金属密封阀必须经常承受高温烘烤。 金属的热膨胀和收缩有可能在温度上升或下降期间引起泄漏。 其次，阀板密封材料的密封表面上的损坏，刮擦和灰尘杂质也是造成泄漏的重要原因。 尤其是由运动轨道上的阀门的运动部件的杂质，污垢和锋利的边缘和角落或阀座上的灰尘和毛发等异物引起的磨损

  泄漏。 旋转密封比滑动密封（例如气动阀的线性驱动轴）更气密，而滑动密封有可能泄漏空气。 建议在打开机器电源时首先测量真空系统的泄漏率。 当泄漏率变大时，应首先测试阀门的气密性。 并且应该进行定期维护以提高系统的可靠性。 可烘烤阀门的烘烤温度通常低于350°C。只要系统能够满足阀门的使用要求，烘烤温度过高就难以确保长期运行的可靠性。

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