涡轮分子泵的主要优点是它们可以获得更清洁的真空并且对所泵送气体的化学特性不敏感。 但是抽速不能太快。 从应用的角度来看，在安装和操作分子泵时，请注意以下几点。 

①立式和卧式分子泵均不能承受稳定或瞬时的扭矩，并且入口法兰不能承受较大的真空容器负荷或悬臂负荷。 连接系统法兰时，必须格外小心，以免使分子泵受到较大的冲击，否则会损坏转子和轴承。 将涡轮分子泵悬挂在容器法兰上，而不要像扩散泵那样将进口法兰用作系统安装平台。 

②涡轮分子泵是一种非常易碎的高速旋转精密机械。 它不能突然暴露在大气中。 错误操作可能会损坏叶片，甚至导致整个分子泵报废。 尽管特别是立式涡轮分子泵的制造商试图增加叶片的刚度和强度，设置了一些自动保护装置，系统泄漏到大气中，前级太高，电机定子或轴承太热 ，并且电动机电流过载。 可以自动切断电源。 保护装置故障仍会引起事故。 

③涡轮分子泵轴承润滑油和前级泵油的污染仍然是一些应用领域亟待解决的问题。 轴承润滑使用增压泵油和仪表油。 正常运行时，分子泵对油的压缩比大，污染小，但在停止泵期间，油蒸气分子会扩散到泵系统中。 在10-3Pa的饱和蒸气压条件下，系统的内表面充满水。单个分子仅需几秒钟。 一旦系统被污染，通常需要在连续100到200°C烘烤几天后恢复到原来的真空水平，以缓慢恢复到原来的水平。 

④轴承寿命问题。 磁悬浮轴承是有希望的理想轴承，它可以完*轴承寿命和油污问题。

上海振畅机电科技有限公司

地址：宝山区月罗公路2120号