高真空扩散泵油的另一个重要性能参数是其热裂解性能。 泵在高温下工作会裂开，由于泵油产生的高蒸汽压裂纹会导致抗氧化性较差，从而影响泵的极限压力。 如果由于事故原因，高温泵油短时间暴露在大气中，抗氧化能力强的泵油会迅速恢复其原始性能，而抗氧化性能差的泵油则会变质甚至变质。 报废。 用于超高真空的扩散泵，需要长时间连续运行的扩散泵，以及每天循环次数高的真空设备，应使用较小的热裂解和高抗氧化性。 应使用合成油（例如硅油和聚苯醚）来测量泵油的抗氧化性。 可以在短时间内反复填充到真空系统中的大气中，直到泵无法正常工作为止。 扩散泵油的抗氧化性能如表2-3所示。

  从表2-3中的数据可以看出，硅油具有优异的抗氧化性和良好的安全性能。  Solbrig曾经将系统中的纯氧压力增加到1 / 2atm（1atm = 101325Pa）。 使用DC705和五环聚苯醚。 两种油都不会引起爆炸。 另外，硅油具有良好的耐热性，强大的水蒸气泵送能力和低回油率。 它价格适中，是超高真空油扩散泵的理想工作流体。 硅油的主要缺点是在电子和离子轰击条件下附着在电极上的油膜会产生固体聚合物硬膜，影响电子设备和电极的性能，并增加真空电离规的测量误差 。 硅油具有很强的蠕变能力，容易污染系统。 在不能使用硅油的体系中，可以代替诸如五环聚苯醚和癸二酸氢的油。全氟聚醚油（Fomblin）是由碳，氟和氧组成的化合物，不含氢和硅。 具有低蒸气压和良好的润滑性能，更好的热稳定性，在热解过程中不产生碳氢化合物和氢，也没有硅化物绝缘膜，并且它不与大多数腐蚀性化学物质反应。 但是在相同的加热功率条件下，抽速比五环聚苯醚低，价格也较昂贵。 其主要物理性能如表2-4所示。

  无论使用哪种工作流体，在扩散泵运行时都必须特别注意大气，否则含氧的泵油会影响泵的极限压力。 严重氧化的油只能通过泵本身的分馏来恢复其泵送性能。 扩散泵的所有零件都需要*清洁，并更换新油。 对于常用的清洁液，可以依次用十氢化萘，丙酮或三氯乙烯，丙酮和洗涤脱氧的泵油。 较轻的氧化剂可用丙酮和清洗。 聚苯醚油可溶于三氯乙烯。 由于三氯乙烷的毒性小于三氯乙烯，因此在清洁聚苯醚油时可以使用三氯乙烷，丙酮。 全氟聚醚油必须是氟化的。  （例如三氯三氟乙烷或全氟烷烃）。

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