扩散泵油对扩散泵性能的影响至关重要。理想的扩散泵  敞泵油  油应饱和蒸气压低化热低、工作稳定、高温下不分解、不吸收气体、化学性能稳定(与其接触的材料  不起反应)、安全无毒,但是直至目前,还没有研制出这种理想的工作液。水银是的可用做泵液的单质介质,它具有化学性能稳定、不分解、不溶解气体、汽化  热小、加热功率低等优点,大的缺点是蒸气压过高,室温下(300K)的饱和蒸  气压高达.5×10-Pa,必须使用冷阱捕集才能用于高真空、超高真空。

采用液氮  冷阱,还要考虑水银在冷阱上的冷冻问题,如果长期连续几天运转,就可能将锅炉  中的水银耗尽而停止工作。另外,水银有剧毒,又能与某些金属材料起反应,带来  很大的安全防护问题,目前,除了一些研究机构在小型玻璃系统采用水银扩散泵以  外,所有金属油扩散泵全部采用石油分馏碳氢化合物和合成油作为泵的工作液。 

 现代扩散泵的工作液有石油分馏碳氢化合物、酯类、聚硅氧烷及醚类。石油分馏的碳氢化合物油属于轻油类,制造成本低,价格低廉,但热稳定性、抗氧化性较差,蒸气压较高,仅适用于高真空泵。四苯基四甲基三硅氧烷(DC704)、五苯基甲基三硅氧烷(DC705)、混合五环聚苯醚( Santovac-5, Convalex-10)和全氟  聚醚( Fomblin Y vac)是目前应用多的超高真空扩散泵合成油。

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