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| 功能特点 |
|---|
| 技术参数 | |||
|---|---|---|---|
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
| 水 | 设备需选配自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） | ||
| 电 | AC220V 50Hz，必须有良好接地 | ||
| 气 | 设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） | ||
| 工作台 | 尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 | ||
| 通风装置 | 不需要 | ||
| 靶 | Ø50mm | ||
| 真空室 | Ø160mm×120mm | ||
| MAX真空度 | ≤4×10-2mbar | ||
| 大电流 | 50mA（100mA） | ||
| 可设定长时间 | 9999s | ||
| 微型真空气阀 | 连接Ø3mm软管 | ||
| MAX电压 | 1600V DC | ||
| 机械泵 | 2L/s | ||
| 尺寸 | 360mm×300mm×380mm | ||
| 可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 | ||
| 标准配件 | 1 | 金靶材 | 1个 |
| 2 | 进气针阀 | 1个 | |
| 3 | 保险丝 | 2个 | |
