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提拉涂膜机
面议MSK-AFA-II-VC 550mm流延涂覆机
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面议MSK-DCP-S650 平板涂覆机
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面议VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪
面议VTC-2RF 300W射频等离子磁控溅射镀膜仪
面议MSK-AFA-SD400 狭缝挤出式涂布机
面议VTC-1RF-1 英寸小型磁控射频溅射镀膜仪
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面议GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪
面议VTC-600-2HD 双靶磁控溅射仪
面议功能特点 |
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技术参数 | |||
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安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
水 | 设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) | ||
电 | AC220V 50Hz,必须有良好接地 | ||
气 | 设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)及减压阀 | ||
工作台 | 落地式,占地面积2m2以上 | ||
通风装置 | 需要 | ||
电源 | AC220V 1500W | ||
蒸发电源功率 | 1000W 5V 200A | ||
蒸发电极有效距离 | 44mm | ||
样品台 | Ø120mm(可旋转) | ||
膜厚测量精度 | 0.1Å或0.01Å(可选配高精度型) | ||
外接真空机组 | 扩散泵机组(可选配国产110机组或进口机组)(不建议使用扩散泵) | ||
极限真空度 | >3.0×10-3torr(扩散泵)、3.0×10-4torr(分子泵)(不建议使用扩散泵) | ||
工作真空度 | 5.0×10-3torr | ||
真空接口 | KF40 | ||
使用环境 | 温度35℃,湿度<75%(相对湿度)不结露,海拔<1500m | ||
尺寸 | 440mm×240mm×260mm(不包括真空机组) | ||
重量 | 约47kg(不包括真空泵) |