真空法兰为316不锈钢制作

顶部法兰（可通过控制盒进行上升和下降）：

• 一机械压力表

• 一KF16接口，可以安装防腐真空计

• 两个不锈钢精密针阀用于气体的进出

• 底部法兰：

• 一KF25接口，可以与真空泵相连接

• 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封：

• 真空度：20Pa（机械泵）

• 真空度：10^-1 Pa（分子泵）

由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部

两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节（触摸屏控制），调节范围为：2-50mm

顶部载样台可旋转（触摸屏控制），转速：1-7rpm

为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中，（不

锈钢壳体采用316不锈钢制作）

采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性

注：可选购5"x5"的石墨坩埚放于底部载样台用来盛放蒸发原料，提高温度均匀性

两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序

每个温控系统都带有超温和断偶保护

PC通讯接口，软件可安装，可将控温程序和温度曲线导入到电脑中

MAX工作温度为：800℃

两个加热区之间的大温差为300℃

建议加热速率≤ 10ºC/s（每个温区单独加热）

冷却速率> 10ºC/s (800 - 300ºC)

此款仪器使用时需要配用一循环水冷机（58L/min)

实验时需要一个真空泵，可与本公司选购真空泵

若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境，可换购无油泵

可选购质子流量计混气系统，将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中

790mm × 600mm × 1100mm

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司

选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品

加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防

意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）