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半导体液氮真空管道采用高真空绝热结构，更大限度的降低了液氮在输送过程中的消耗，用于超低温介质的长距离输送，用于**有效地传输液氮．
半导体液氮真空管道的特点：
结构合理，不冒汗，蒸发率低
引进高真高多层绝热制造技术；
快速绝热，强度高，**可靠
管道端部绝热支撑采用了平衡强度设计，**可靠；
采用品质优良的绝热材料
采用国外生产的超细玻纤包扎层和超薄屏蔽材料；
外形美观，安装便捷易使用
抛光不锈钢制作，真空法兰连接，易装易拆卸；
半导体液氮真空管道技术参数：
| 管路通径 | DN10 | DN20 | DN25 | DN40 | DN50 | DN60 | DN80 | DN100 | |
| 主要材质 | 0Cr18Ni9 | ||||||||
| 压力等级 | ≯35MPa | ≯23MPa | |||||||
| 内管补偿方式 | 自然补偿器 | 波纹补偿器 | |||||||
| 低介质温度 | -253°C | ||||||||
| 焊缝漏率 | ≯1×10-9Pa·m3/s | ||||||||
| 总体漏放气速率 | ≯1×10-8Pa·m3/s | ||||||||
| 封口真空度 | ≯1.33×10-3Pa | ||||||||
| 真空寿命 | 大于4年 | ||||||||
| 机械寿命 | 30年 | ||||||||
| 连接方式 | 螺纹连接/小真空连接 | 法兰连接/小真空连接 | |||||||
| 传热值 | 直管段 | ≯0.45W/m | ≯0.8W/m | ≯1.0W/m | |||||
| 焊接接头 | ≯8W/m | ≯11W/m | ≯14W/m | ||||||
| 法兰连接 | ≯28W/m | ≯40W/m | ≯40W/m | ||||||
