KJ-T1600-CVD-CVD系统-郑州科佳电炉有限公司手机版

详细介绍

产品介绍：
该设备由蒸发器、混合器和反应器组成。采用氧化铝纤维耐火材料。设备技术成熟、质量可靠，温场均匀，结构合理，30段可编程温控系统，气路选用液晶屏触摸界面，使得操作异常简单、方便设备的各项技术参数。

应用范围：
广泛应用于半导体工业中，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料等的镀膜，该设备可在目标材料表面形成密集的HfCl4涂层.适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域。

产品参数：

产品名称	CVD系统
产品型号	KJ-T1600-CVD
部分：定制坩埚炉（蒸发系统）
使用温度	超过500℃
工作区尺寸	Φ150 x H320mm（不锈钢内胆的有效尺寸）
坩埚	310S不锈钢，形式及具体要求与客户确认
加热元件	电阻丝
升温速率	0-20°C/min
漏率	20Pa/min
第二部分：定制小管式炉（混气系统）
使用温度	超过500℃
工作区尺寸	Φ150 x H200mm（不锈钢内胆尺寸）
混气罐	310S 不锈钢
加热元件	电阻丝
漏率	20Pa/min
第三部分 1600度管式炉（反应器）
温度	1600℃
长期工作温度	1500℃
炉管尺寸	OD100/ID90,加热区300mm
炉管材质	高纯氧化铝管
加热元件	硅钼棒
漏率	20Pa/min
真空度	抽真空度到-7*10-3Pa 压力范围不超过0.02MPa
更多参数可根据需求定制

1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务，包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

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