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美国MKS真空计 MKS 925系列皮拉尼真空计
HPS系列的925 micropirani?传感器是一种基于MEMS. 925 *的,基于MEMS(微机电系统)传感器。925是用于真空压力测量并提供模拟电压输出,数字接口和设定点继电器.用于过程控制。
美国MKS真空计 MKS 925系列皮拉尼真空计优势:
?增加压力测量范围从10-5乇大气,在一个标准的皮拉尼
? Three set point relays for process control (option)
?三点继电器用于过程控制(选项)
? Ultra compact design
?超紧凑的设计
? High accuracy for improved process control
?改进过程控制的高精度
? Ease of operation via analog output and digital communication (RS232 or RS485)
通过模拟输出和数字通信(RS232或RS485易于操作?)
? MicroPiraniTM solid state sensor is resistant to damage from air inrush or vibration
?micropiranitm固态传感器是从耐空气侵入或振动的损伤
? Mountable in any orientation for ease of installation; no loss of measurement accuracy
?安装在任何方向,安装方便;没有损失的测量精度
? Optional display available for local pressure indication
?可选显示可用的局部压力指示
? Alternate analog output and electrical connectors available to match other vendors’
?交替的模拟输出和电连接器可与其他厂商,方便容易升级
? CE marked, compliant with EMC Directive 2004/108/EEC
?CE标志,符合EMC指令2004/108/EEC
美国MKS真空计 MKS 925系列皮拉尼真空计应用:
925可以用在许多不同的真空应用在半导体的分析,
and coating industries:
涂料行业:
? General vacuum pressure measurement
?一般真空压力测量
? Foreline and roughing pressure measurement
?前级和粗压力测量
? Gas backfilling measurement and control
?气体充填的测量与控制
? Mass spectrometer control
?质谱仪控制
? Activation of UHV gauges
?激活真空计
? System process control
?系统过程控制
? Control system pressure
?压力控制系统
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