在真空泵主要技术性能(真空度等)达到设计要求或满足工艺要求，附属设备(冷凝器等)齐全;设备运转平稳，声响正常，无过热现象，封闭良好。旋片式真空泵设备润滑系统完好，润滑油质符合规定的情况下，企业应该按要求并定期进行真空泵的检查，换油工作。
1.各种仪表(如真空表等)指示值正确，并定期进行校验;各阀门启闭灵活、密封良好，无泄漏现象;管道无泄漏，并定期进行检查。电动机配备合理，运行正常(温升和声响正常)，电气线路安全可靠，有接地保护措施，电气装置(控制柜)可靠，电气仪表指示正确;安全防护装置齐全可。
2.设备及冷却系统设施整洁，无锈蚀。
3.水环式真空泵冷却系统运行正常，冷却装置完好，排水温度不超过规定要求，应有断水保护装置。一般来说所用的工作液都是水作用在转子叶轮上的能量被液体接收并传给被压缩的气体，这样就造成了水环的温度升高。水环的部分水与气体一起压缩排除泵外在压缩过程中产生的大部分热量被带走。因而需要不断的补充新鲜的水，以使水环泵的工作温度能够维持恒定。在多数的水环式真空泵中，其工作温度约为15-20℃，它取决于所补充水的温度_实际上，水环泵的极限压力并不十分重要，因为不同的液体，在压力低于50-60hPa时，会发生气蚀现象，泵的部件会遭到损坏。当泵接近极限压力时，抽速很低，泵入口处的水开始沸腾。当转至泵的出口时，形成的气泡开始破裂。这样就会产生很大的噪声，同时泵的驱动轮和}泵腔等部件被逐渐破坏。这种现象通常称作气蚀现象。一旦气蚀现象发生，就要通过小阀引入少量的新鲜空气。在这种情况下，在入口官道上开个小孔，以便定量地加入些新鲜的其他，如果使用气体喷射器，气蚀现象就不会产生了。
只有按定期按正常流程进行真空泵检查，才能避免造成真空泵异常损坏，降低真空泵维修成本，希望各企业都能严格遵守。