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PCE-80 8.5英寸等离子清洗机

型号

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封口设备
深圳市科晶智达科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服务于高校、研究院所、企业研发部门的国家技术企业,长期致力于打造安全、高效、智能的实验研发一站式服务平台,为科学研究与产业孵化赋能。 深圳科晶与美国MTI、合肥科晶、沈阳科晶同属MTI-科晶联盟,目前已经搭建辐射的服务网络,精心为科学家们的实验室提供交钥匙工程解决方案。 深圳科晶创立初期主要为半导体、精密光学器件提供洁净存储和安全转移所使用的包装制品,产品包括各种塑料胶盒、膜盒、晶圆盒、海绵盒、花篮等。 公司2008年开始进行材料相关研发设备和锂电池实验设备的开发,经过十多年的积累深圳科晶现已成为新能源和新材料基础研究、小试与中试、测试与评估的整体解决方案规划者和提供者,产品应用涵盖了石墨烯材料、*陶瓷、*纳米材料、锂离子电池、超级电容器、燃料电池、固态电池、钙钛矿太阳能电池、功能薄膜等方向。 主要产品系列:按应用与工艺更新产品系列 ? 材料基础研究实验装备(包括混料、涂覆、镀膜、压制、烧结、切割、研磨、抛光、粉碎、制粉、造粒、熔炼等); ? 电池研发实验制备装备(包括锂离子电池、固态电池、超级电容器、金属空气电池、钠离子电池、液流电池、太阳能电池等制备方案); ? 电池安全测试装备(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等国内标准等); ? 锂离子电池中、小试生产制备全流程系统装备方案,交钥匙工程(包括扣式、柱状、软包、方形铝壳等各种全电池制备方案); ? 燃料电池研发实验制备装备(包括固体氧化物、质子交换膜燃料电池等制备方案); ? 钙钛矿太阳能电池研发实验制备; ? 功能薄膜研发实验设备(包括混料、涂布、辊压/复合、分切、复卷等); ? 高通量材料基因组实验设备(包括配液、配粉、混合分散、压片、烧结、测试表征等); 公司设立了开放的研发实验室和设备体验中心。对于锂电池行业,可实现公斤级别材料制备及电池研发,能接受上门小批量材料验证、定向工艺研究及小量成品电池制备等研发工作。 深圳科晶强大的研发团队支撑了丰富的产品链,针对现有产品具有知识产权的发明和实用新型共40多项(包含PCT和国内发明),并参与行业多项标准制定且获得多个行业协会认可。 本着“精诚合作、创新共赢”的宗旨,深圳科晶先后与清华大学、南开大学、上海交通大学、深圳大学、中航发航材院、溧阳天目湖研究院等十多个高校机构和企业签署产学研合作。与此同时,深圳科晶设立了对外服务的公共试验平台,承接科研人员参观交流与现场测试体验,配备行业的售前技术人员协助研究者充分了解相关工艺和设备,缩短调研考察与决策时间。该实验室平台也可以承接相关工艺试验服务和培训咨询服务,协助细分领域的科研工作者快速掌握产业工艺,从而专注前沿研发。 材料科学是基础科学。纵观人类科技的发展历史,新型材料的发现和应用将带来巨大的产业机遇,而*的实验装备和仪器是为科研和应用保驾护航的重要保障。科晶团队将一如既往秉承“客户为本,技术为导,诚信为基,积极创新”的运营理念 ,竭力为科学研究和科技发展做出贡献。

详细信息

PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

技术参数

主要参数

● 大射频功率: 100 W

● 真空泵功率: < 500W

● 总功率: < 600W

● 电源:AC 220V , 50Hz

射频电源

● 射频功率可在 0 - 100W之间调节

● 频率: 13.56 MH

● 可以与本公司工作人员联系将原有电源升级为300W或500W的射频电源,来进行等离子刻蚀或等离子灰化等实验

等离子腔体

● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体

● 铝制折叠式法兰来进行真空密封

● 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口

● 此设备屏蔽射频辐射,零射频泄漏

控制面板

● 通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等

● 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量

真空泵(选配)

● 仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵

● 极限真空度为80mTorr(参考值,具体请点击)

通入气体

● 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

● 不能使用及腐蚀性气体。

可选

● 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片

● 可选购2-4通道质子或浮子混气系统

外形尺寸

620 L ×600 W ×600 H mm

认证

CE认证

质保期

● 一年保修,终身技术支持。

● 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

● 点击查看售后服务承诺书。

相关应用

● 请自行根据您的应用测试等离子功率

● 对于等离子清洗,根据工艺,通常保持射频功率在10 - 30W之间

● 对于等离子刻蚀,根据工艺,通常保持射频功率在35 - 80W之间

● 可根据要求提供300W高功率射频电源

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