起订量:
PDC-36G 等离子清洗机
功能特点
结构紧凑、小型化的桌上型仪器;
用各种气体清洗和去除晶片上纳米级有机污染物;
在制膜实验之前预先清洁镀膜基底的优秀工具。清洗后镀膜的质量可以更好;
铰链式门,方便装样;
石英腔的直径是3英寸,在里面可以放入一个石英舟,大清洗一个2英寸的基片;
清洗腔里面的石英管可以拆卸,方便清洗和更换;
使用可调射频电源,可以设置功率为低、中、高级别;低成本、操作安全;
技术参数
主要参数
● 低功率设定:直流680V,10mA,6.8W
● 中功率设定:直流700V,15mA,10.5W
● 高功率设定:直流720V,25mA,18W
● 射频源输出频率:13.56MHz
● 等离子直流电源
● 输入电压:220V,50Hz
等离子腔室
● 直径75mmx长200mm的石英墙体,前盖可以开启
● 高纯度石英腔体,使用寿命比玻璃长
真空计
● 设备标配一个数显电阻真空机用于实时监测清洗仓内的真空度。
可选配件
● 您可以订购额外的石英腔体,用于备用
● 如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PDC-36G等离子清洗机可以与2路混气系统组合(点击下面图片了解详情)
● 您可以订购石英晶片载体来清洁2英寸晶片
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真空泵和阀
● 此设备不包含真空泵
● 您可以点击下方图片了解真空泵信息
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工作气体
● 多种气体可以用于等离子清洗,例如氮气、氩气、空气、混合气体,主要取决于处理何种材料。
● 可以使用<4%的H2混合惰性气体
● 警示:不能使用可燃性及腐蚀性气体
等离子清洗及刻蚀的方法
外形尺寸
353mm(L)x380mm(W)x225mm (H)
净重
8kg(不含泵)
认证
CE认证
质保期
● 一年保修,终身技术支持。
● 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
● 点击查看售后服务承诺书。
工作原理
等离子清洗机工作原理