起订量:
PCE-6V 小型等离子清洗机
功能特点
采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。。
可短时间内清洗掉有机污染物。
清洗程度可达到分子级。
可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。
样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。
广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
技术参数
电压
AC220V 10A
消耗功率
<500W(包括真空泵)
RF电源
输出功率100W,输出频率13.56MHz
腔体
Φ190mm×98mm
细节图
石英管
Φ180mm×55mm,壁厚7mm
内腔
Φ165mm×55mm
清洗电极
Φ120mm
样品台
Φ150mm,有效尺寸Φ140mm
样品台与电极间距
15mm-50mm可调
抽气管
Φ12mm
极限真空度
0.1Pa
工作真空度
60Pa-500Pa
气路数量
2路(选装)
流量控制器数量
1、2
流量显示仪
2通道
气路接口
Φ6mm
加热样品台
Φ140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装)
冷却水压力
0.2KPa-0.4KPa
工作环境
温度5℃-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m
尺寸
245mm×235mm×460mm(不含真空泵)
重量
20kg(不含真空泵)
可选配置
● 加热样品台
● 流量控制器(量程10、50、100,多可增加2个通道)