调节中的气体再释放对真空测量的影响调节中的气体再释放对真空测量的影响主要有以下两种形式：

（1）气体的热脱附对真空测量的影响。 在热阴极电离真空计的调节中，高温热阴极本身就是一种气体源。 当其高温热量散发到其他电极和仪表壁时，将导致气体的热解吸。 另外，脱落电极连接到电子收集电极以收集离子，并且气体也将由于热量而解吸。 为了消除热脱附对真空测量的影响，必须对电极和管壁进行充分脱气（可以使用烘烤，电子轰击，高频加热或欧姆加热等），尤其是在超高温下。  -高真空测量期间必须严格执行脱气，否则会产生较大的测量误差。 

（2）气体电解吸收和光解吸对真空测量的影响。 由于在电离计的加速电极上存在气体吸附层，因此当电子撞击表面时，吸附层的气体将被解吸，或者气体将在其表面上被离子化，然后作为离子解吸。 这就是所谓的电子碰撞解吸效应，它是影响电离规测量下限的重要因素。 光解吸是指当金属表面被光照射时分子解吸和分解的现象。 需要注意超高真空测量过程中的光解吸问题10.9.4.2电离规调节抽气对真空测量的影响

  A.用电清除气体。 电子与气体分子碰撞以电离并产生离子。 具有一定能量（约100 cV）的离子撞击调节壁或被收集器接收。 这些离子或者结合在表面上或者埋在要去除的表面中。 这称为“电清洁”。 只有在300℃烘烤后才能释放多的结合离子。 如果液位计内壁上有溅射的金属薄膜，它将对氦气（He）产生强大的泵浦作用。电清除泵浦的泵浦速度（SE）和电子流，每个电极的电势， 仪表壁的温度与磁场和其他因素有关。如果电子流量增加，离子电流将线性增加，因此电间隙的泵浦速度与电子流量也近似呈线性关系； 如果电网（加速器）电势发生变化，将导致电离几率和电子能量发生变化，因此电清除的抽速也会发生变化。 如果存在磁场（例如冷磁控规），则由于其高电离效率，电清除的泵送速度会更大； 压力表的壁温及其电位对清除泵送空气的泵送速度也有很大的影响。 降低调节壁的温度将提高电扫地泵的泵送速度并降低结合分子的重新释放速率。 如果壁电势发生变化，则电吹扫泵的抽速也会发生变化，例如，当表壁电势等于电网电势时，电吹扫泵的抽速是管壁的五倍，而 阴极。 一。

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