本系列调压阀用于控制硅烷和二氯硅烷。

标准特征
• 316不锈钢结构提供zui大抗腐蚀性
• 21⁄2"不锈钢压力表对更精确设置读数更方便。
• 由于硅烷同空气反应产生的在阀座
上累积二氧化硅，加固阀座 （加固
膜片）可减少二氧化硅导致的可能的
调压阀故障。
• *的调压阀设计允许调压阀可以
使用在如二氯硅烷的低蒸汽压力
气体。
• 膜片密封出口阀保证气体纯度。
可选特征
• 爆破片装置（型号SG3862, SG3865和
SG3866） 防止调压阀和出口系统超压，
允许连接到处理系统上去。

技术指标

压力表尺寸: 21⁄2" 刻度盘
流量系数:
调压阀: Cv = 0.624
出口阀: Cv = 0.17
入口连接方式:
SG3862, SG3865 & SG3866:
CGA 350 用于硅烷和硅烷混合气体
SG3860: CGA 678 用于二氯硅烷
出口连接方式:
1/4” NPT内螺纹 （出口阀上）

出口连接方式:
1/4” NPT内螺纹 （出口阀上）

可选爆破片排气连接:
1/4” NPT外螺纹

供压效应:
1 psi / 100 psi （大约）
大约重量: 7 lbs
构成材料
本 体: 316不锈钢棒材
出口阀和压力表:
316不锈钢
阀 帽: 镀镍铬黄铜
其它接触气体材料:
316不锈钢
阀 座 （调压阀和出口阀）: PCTFE
膜 片: 316不锈钢
密 封: Teflon®