数控机床激光干涉仪
数控机床激光干涉仪
数控机床激光干涉仪
数控机床激光干涉仪
数控机床激光干涉仪

SJ6000数控机床激光干涉仪

参考价: 订货量:
280000 1

具体成交价以合同协议为准
2023-12-07 14:42:59
422
产品属性
关闭
深圳市中图仪器股份有限公司

深圳市中图仪器股份有限公司

免费会员
收藏

组合推荐相似产品

产品简介

数控机床激光干涉仪sj6000在动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

详细介绍

数控机床激光干涉仪sj6000具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

27.jpg

产品配置

SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

主要镜组图800.jpg

主要镜组图


其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。


性测量应用

SJ6000激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。

线性测量应用.jpg

产品功能特点

1、精度高

SJ6000数控机床激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。

2、功能广

(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

(3)可实现对机床回转轴的测量与校准;

(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

(5)具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

(6)支持手动或自动进行环境补偿。

3、软件强

(1)友好的人机界面;

(2)丰富的应用功能模块;

(3)向导式的操作流程;

(4)简洁化的记录管理;

(5)支持中文、英文和俄文界面;

(6)支持企业专属模板定制。

4、标准多

光刻机Y轴Vertical Straightness测量.jpg

部分技术指标

主机

稳频精度:0.05ppm

动态采集频率:50 kHz

预热时间:≤ 6分钟

工作温度范围:(0~40)℃

存储温度范围:(-20~70)℃

环境湿度:(0~95)%RH


环境补偿单元

空气温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃

材料温度传感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃

空气湿度传感器:±6%RH (0~95)%RH

大气压力传感器:±0.1kPa (65~115)kPa


线性测量距离:(0~80)m (无需远距离线性附件)

角度测量范围:±10°

平面度测量范围:±1.5mm

直线度测量范围:±3mm

垂直度测量范围:±3/M mm/m


便携箱尺寸:613*460*230mm

标准配置重量:18kg

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。


上一篇:Hengstler亨士乐RI64空心轴编码器 下一篇:LEINE&LINDE林德1110494-01脉冲信号分配器技术参数
热线电话 在线询价
提示

请选择您要拨打的电话: