中图仪器SJ6000超精密激光干涉仪测量过程全自动化，效率高。仪器集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿。

测量应用

SJ6000激光干涉仪可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

对机床精度再校准

三坐标测量机示值误差测量

测量软件

（1）友好的人机界面；

（2）丰富的应用功能模块；

（3）向导式的操作流程；

（4）简洁化的记录管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企业专属模板定制。

SJ6000超精密激光干涉仪的系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。