不锈钢硅烷燃烧净化塔
概述:
我公司生产的不锈钢硅烷燃烧洗涤塔是处理硅烷、氨气及其他可溶性气体的废气净化设备，主要用于处理太阳能电池生产线行业以及PECVD化学气相沉淀工艺所产生的废气。
本产品在结构上主要由不锈钢壳体、燃烧系统、洗涤系统和清渣系统组成。在进气方便采用压缩空气加新风进气口双进风形式，增大了产品运行效率。在喷淋系统方面，采用水泵与自动补水相结合的方法，风机采用一用一备形式，这些工艺特点使得本产品在安全可靠性方面得到显示。里面的燃烧室采用泄压装置，即使在里面压力突然变大的情况下仍能正常工作，同时配备了氮气入口，增大了设备的安全性。在粉尘收集方面采用静压沉积的方法，沉积下来的粉尘通过排渣口排出，这使粉尘收集处理变得较容易、较有效。经过检测，客户单位硅烷（SiH₄），氨气（NH₃）以及其他水溶性的净化率较高。