日本进口SMC冷水机深冷器温控器 维修服务，zonglen提供相关维修服务。主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

日本进口SMC冷水机深冷器温控器 维修服务

半导体专用温控装置（Chiller）主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备。在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术，并采用变频控制及两级闭环节能控制，显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

日本进口SMC冷水机深冷器温控器 维修服务

应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）， 实验室精密装置、 高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

变频控制，智能PID控制
预测控制及自适应控制
模块化功能定制，高效节能
两级闭环节能控制

日本进口SMC冷水机深冷器温控器 维修服务 应用领域

激光加工、印刷设备、清洁设备、焊接设备、高分析仪、LCD制造设备、模具温调、高频感应加热设备、X射线（数字式）设备等

zonglen半导体器件高低温测试设备chiller

温度范围：-20°C~+90°C

控温精度：±0.1℃

触摸屏操作，人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小

半导体冷热测试一体机 循环制冷机chiller

主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精ZHUN控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

本设备采用变频控温方式，提高能效，减少能耗。-20℃下目标制冷量可以达到3600W，满足用户制冷需求。精QUE控温，控温稳定性达到±0.1℃，使用范围广，设定温度：-20℃~80℃。

半导体冷热测试一体机 循环制冷机chiller

应用于半导体行业蚀刻装置，CMP (工艺机械抛光)，实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

温控精度（空载时）±0.05℃

触摸屏操作，人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小

占地面积小、保护装置

快速升温/降温、提高生产效率、降低运营成本和保障生产

运行稳定、准确控温

半导体冷热测试一体机 循环制冷机chiller

可用选项

省空间、省配线、省配管、省工时、双变频型更节能。

可对应温度稳定性（空载时）±0.05℃。

循环液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去离子水(纯水)

冷却方式：水冷式