Recirculating Chiller半导体模块Chiller

主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

Recirculating Chiller半导体模块Chiller

适合元器件测试用设备，在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中，IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在多种温度下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。 用于芯片、模块、集成电路板、电子元器件等提供且快速的环境温度。是对产品电性能测试、失效分析、可靠性评估的仪器设备。应用于半导体企业、航空航天、光通讯、高校、研究所等领域。

Recirculating Chiller半导体模块Chiller

温控精度（空载时）±0.05℃

触摸屏操作，人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小

占地面积小、保护装置

快速升温/降温、提高生产效率、降低运营成本和保障生产

运行稳定、准确控温