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　　超纯水设备结构紧凑、管理分布合理、简单，使用一台一体化智能系统。工艺流程为：

　　原水→预处理→双级反渗透→脱气系统→EDI系统→脱气系统→核子级混床→终端超滤→用水点

　　1、预处理系统包括原水箱、原水泵、杀菌剂、石英砂过滤器、活性炭过滤器、换热器、阻垢剂系统，可去除原水中的大颗粒物质、微生物、有机物、余氯、异味等。

　　2、双级反渗透包括保安过滤器、高压泵RO、反渗透系统。利用反向渗透原理，主要除去水中溶解盐类、有机物、胶体、大分子物质等，降低水质的离子含量。

　　3、EDI系统的作用就是通过除去电解质(包括弱电解质)的过程，将水的电阻率从0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。

　　4、脱气系统：是控制液体脱气、供气的中空纤维膜组件。具有致密表皮层的中空纤维不透过液体，只透过气体，适合用于液体的脱气、供气。

　　5、抛光混床等装置：无化学析出的核子级树脂，去除纯水中残余的微量带电离子及弱电解质，使水质达到18MΩ·cm以上。