硅晶片洁净无尘车间

青岛绿丛林空气净化工程有限公司是专业从事洁净技术研究、净化工程的设计、无尘车间施工、净化厂房检测及洁净技术人员培训的*。公司凭借多年空气净化的专业经验，在全国各地的徽电子、光磁技术、生物工程、医药卫生、电子器械、精密仪表、航空航天、食品工业、化妆品工业、科研教学等*产业等领域中，设计承建了各种不同类型的净化厂房、无尘车间及无菌室，能够提供满足FS209E联邦标准、GB50073-2001要求和GMP规格要求的洁净厂房系统工程设计、制造、安装、调试、检测等综合性成套服务。

    本公司严格执行ISO9001质量体系，从设计、计划、工程材料采购到每个制造、安装工序均有严格的操作程序和规范，能有效保证工程进度和工程质量。根据工程的特点，结合ISO9001质量管理体系的要求，本公司实施一套完整的售后服务制度，能提供优质的一站式、保姆式的售后服务。

从大的方面来讲，光伏新能源硅晶片生产包括硅单晶棒生产和光伏新能源硅晶片生产两大部分，细分为以下几道主要工序：

单晶棒生长-单晶棒裁切和检测-外径磨削-切片-倒角（圆边）-研磨/研磨片检查-蚀刻（化学蚀刻、LP-CVD+AP-CVD 等工艺）-PTA热处理-背面损伤处理-抛光（ML粗抛、ML精抛）-洗净-品质检查-洁净包装

从单晶棒生长到外径磨削为硅单晶棒生产工序，切片以后的流程为光伏新能源硅晶片生产工序。下面以某日资硅片厂为例，介绍光伏新能源硅晶片生产工序的空调净化系统和自控系统的设计方案。

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