电热蒸汽机的发展首先体现在功率和效率的提高，而这又主要取决于蒸汽参数的提高。初期蒸汽机的蒸汽压力仅为0.11~0.13兆帕，19世纪初才达到0.35~0.7兆帕，20世纪20年代曾用到6~10兆帕。在蒸汽温度上，19世纪末还不超过250℃，而到20世纪30年代曾用到450~480℃。

至于效率，瓦特初期连续运转的蒸汽机，按燃料热值计总效率不超过3%;到1840年，的凝汽式蒸汽机总效率可达8%;到20世纪，蒸汽机效率可达到20%以上。

电热蒸汽机转速

在转速方面，18世纪末瓦特蒸汽机仅40~50转/分;20世纪初转速达到100~300转/分，个别蒸汽机曾达到2500转/分。在功率方面，初单机功率仅几马力，20世纪初的一台船用蒸汽机的功率可达25000马力。

随着蒸汽参数和功率的提高，蒸汽已不可能在一个汽缸中继续膨胀，还必须在相连接的汽缸中继续膨胀，于是出现了多级膨胀的蒸汽机。蒸汽机因受到润滑油闪点的限制，所用蒸汽温度一般都不超过400℃，机车，船用等移动式蒸汽机还略低一些，多数不高于350℃。考虑到膨胀的可能性和结构的经济性，常用压力在2.5兆帕以下。蒸汽参数受到限制，从而也限制了蒸汽机功率的进一步提高。