冷水机在真空镀膜领域的应用案例

真空镀膜设备的冷却主要分为两部分：1、靶材冷却。2、腔体冷却

靶材冷却：在镀膜过程中靶材的频率高，电流大，电流在流动过程中会产生集肤效应，电流会集中在有点导体的面，导致电导体发热，为了保证镀膜机的长时间连续性工作所以需要在导体内部通冷却水，给其降温。

腔体冷却：镀膜腔体内的温度通常可以高达800-1200摄氏度，长时间工作会导致腔体高温，故需要在腔体表面做夹层通冷却水来进行降温。

在真空镀膜机冷水机选型过程需要注意：

1、镀膜机的功率。

2、冷却水流量。

3、镀膜机的腔体直径。

冷水机在真空镀膜领域的应用案例

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