Inficon英福康真空计  BPG400 B-A型皮拉尼真空计

INFICON B-A型皮拉尼复合真空计, BPG400, 两个真空计复合在一个小型单元中测量范围从 5 x 10-10 毫巴至大气压 (3.8 x 10-10 乇至大气压). 复合技术降低了安装,设置和集成的复杂性. 选 BPG400 用于可及的和可再现的过程, 在一个经济的真空计组件中执行基本的压强测量.

Inficon英福康真空计  BPG B-A型皮拉尼真空计优势：

极宽的测量范围从 5 x 10-10 毫巴至大气压 (3.8 x 10-10 乇至大气压)

过程压强范围从 10-8 … 10-2 毫巴,的再现性 5%

皮拉尼联锁保护 B-A型系统防止灯丝过早烧毁和来自高压强运行的过度污染

长寿命的涂敷氧化钇的铱灯丝

可选图形显示器和现场总线接口

自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预

RoHS 兼容性

Inficon英福康真空计  BPG B-A型皮拉尼真空计用途：

在半导体过程和传送室中的压强测量

工业镀膜

在低至超高真空范围内的一般真空测量和控制

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