半导体 BOWMAN X射线荧光测厚仪
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深圳市金东霖科技有限公司
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是一款可靠的采用X-射线荧光方法和*的微聚焦X-射线光学方法来测量和分析微观结构镀层的测量系统。
可应用于在线膜厚测量,测氧化物,SiNx,感光保护膜和半导体膜.也可以用来测量镀在钢,铝,铜,陶瓷和塑料等上的粗糙膜层. 薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉,干涉的发生与膜厚及折光系数等有关,因此可通过计算得到薄膜的厚度.光干涉法是一种无损,精确且快速的光学薄膜厚度测量技术,薄膜测量系统采用光干涉原理测量薄膜厚度。
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