In Touch Scope JSM-6010PLUS/LA 分析型扫描电子显微镜

主要特长

优秀电子光学系统                                                             In Touch Scope JSM-6010PLUS/LA是日本电子株式会社推出机型，沿袭日本电子的优秀电子光学系统，集合了分析扫描电镜精髓功能，设计精简自动化程度高。

使用多点触摸屏，操作舒适                                              In Touch Scope JSM-6010PLUS/LA通过多点触控技术和的操作软件，操作直观简单。只需轻触屏幕就能操控各种功能，舒适便捷。新开发的操作界面简明易懂，即使是SEM新手也能轻松获得高品质的SEM图像，进行EDS元素分析。

能适应各种环境的可移动式扫描电镜                                             In Touch Scope扫描电镜，在手边的PC上就可以进行观察和分析。只要移动触摸屏，在远离装置的地方也能够进行操作。(无线模式操作为选配件)。In Touch Scope主机用脚轮即可移动。

标准配置EDS分析功能的分析型扫描电镜                                          标准配置EDS分析功能的JSM-6010PLUS/LA，不仅能获取高分辨率的图像，在低真空模式下观察非导电性样品，还采用了无需液氮制冷的EDS检测器 (DRY SD)，能够进行定性分析、定量分析、元素面分布。此外，搭载的大型全对中形样品台可以对应各种样品。

JSM-6010PLUS/LA性能参数

Main Performance on JSM-6010PLUS/LA

Performance

(一) 主要性能 

HV Mode Resolution

高真空模式分辨率 (SE像)   4.0nm @ 20KV   WD 8mm

8.0nm @ 3KV    WD 6mm

15.0nm  @ 1KV  WD 6mm

LV Mode Resolution

低真空模式分辨率 (BE像) 5.0nm @ 20KV  

Magnification

放大倍数                                                              ×8~×300,000 

Detectors

探测器 Secondary Electron Detector

二次电子探测器

★Semiconductor Backscattered Electron Detector(patent)

半导体型背散射电子探测器(技术)

Image Mode

图像模式 Secondary Electron Image 

二次电子图像

REF Image

REF像

Composition Image (Backscattered Electron Image)

成份像 (背散射电子图像) 

Topography Image (Backscattered Electron Image)

形貌像 (背散射电子图像) 

Shadow Image (Backscattered Electron Image)

立体像 (背散射电子图像) 

Live Image Display

实时图像显示 Dual Live Image Display, Split Live Image, 

双实时图像同时显示, 分割实时图像显示 

Accelerating Voltage

加速电压 0.5KV ~ 20KV

Low Vacuum Degree

低真空度 10 to 100 Pa (Settable with graphic menu)

(软件控制菜单设定)

Probe Current

探针束流 1pA ~ 0.3uA

Electron Optics

(二) 电子光学系统 

Filament

灯丝                                     Factory pre-centered tungsten hairpin filament

工厂预对中钨灯丝

★Gun Bias Voltage

电子枪偏压 Seamless automatic bias

无缝式自给偏压, 连续调整

Gun Alignment

电子枪合轴 Auto alignment

自动合轴

Filament Heating

灯丝加热 Auto heating

自动加热

★Condenser Lens

聚光透镜                                 Two stage zoom type condenser lens – (patent)

变焦聚光透镜系统 – 技术

★Objective Lens

物镜 Super conical type objective lens

超级锥形物镜

Objective Lens Aperture

物镜光阑 1 step, Fine position adjustment in X and Y directions

1孔固定，可在X和Y方向微调

Focus

聚焦 Auto/Manual focus

自动/手动聚焦

Stigmator

像散 Auto/Manual stigmator

自动/手动消像散

★Stigmator Memory

像散存储器                               Standard,  Auto/Manual

标准配置，自动/手动补偿像散

★Electrical Image Shift

图像移动                                 X-Y , ±50um

Specimen Stage

(三) 样品台 

Type

样品台类型 Eucentric type stage 

全对中样品台

Traverse

行程                                    

 X     :  80mm;

Y     :  40mm;

Z     :  5 ~ 48mm;

倾斜 T:  -10 ~ +90°

旋转 R:  360°连续endless

Maximum Specimen Size

样品尺寸 150mm diameter & 48mm height specimen can be inserted

可装直径150mm高度为48mm的样品

Maximum Size of Observation

观察视野 125mm diameter

直径125mm

Image Display

(四) 图形显示 

Pixels

显示像素 640×480,1280×960,2560×1920,5120×3840

Image Process

图像处理 Averaging, Linear, Contrast, Gamma, Multi level, Patial enhance, Reverse, Pseudo color, Multi image

平均值, 灰度修正, 反差增强, 伪彩, 二及四分屏, 2及4倍数码变焦

File Save

文件存储格式 BMP, TIFF, JPEG

Operation System

(五) 操作系统   

PC

计算机 23英寸触摸屏式台式电脑

OS :  Windows 7 (英语版)

Metrological function

(六) 测量功能 

Distance between parallel lines

平行线间距测量 Horizontal, vertical, diagonal

垂直, 水平, 对角

Distance between 2 points

2点之间距离测量 Distance between any 2 points

任意2点间距离

Circle

圆的测量 Diameter

直径

Distance between 2 circle centers (not supported by the touch-panel operation)

2个圆中心间距离(触摸屏操作下不支持此功能)

Angle

角度测量 Angle

角度

Area

面积测量 Area of circles and polygons

圆和多角形

Count

计数 Particle count

颗粒计数

Vacuum System

(七) 真空系统 

Ultimate Pressure

真空度 HV mode 0.1mPa

高真空模式 1×10-4Pa

LV mode 1mPa(at the specimen chamber pressure 27Pa)

低真空模式1×10-3Pa(当样品室真空为27Pa时)

Evacuation Time

抽真空时间 HV mode 3 min

Pump System

真空泵系统                              One TMP, One RP

一个分子泵, 一个机械泵

Safety devices

(七) 安全装置 Power failure, Water failure, Pressure rise, Leak current

断电,断水,泄压,漏电保护

Auto Function 

(八) 自动功能 Auto gun control, Auto focus, Auto stigmator, Auto contrast and brightness

自动电子枪控制,自动聚焦,自动消像散,自动反差和亮度

Miscellaneous

(九) 扩展接口 EDS 能谱仪、Chamber Scope红外相机、Probe Current Detector束流监视器

EDS Performance:

(十)能谱仪主要性能 

Detector

探测器 Box SDD detector (no liquid nitrogen needed)

电制冷方式Box SDD 探测器 – 不用液氮

Effective area of detector

探头有效扫描面积 10 mm2

Detector movement

探测器移动 Fixed

固定

Resolution

分辨率 129eV or better (55Fe, 5.9 keV, 1000 cps)

Detectable element range

元素分析范围 B(5) to U(92)

硼  至 铀

Window

窗口 Atmospheric pressure-resistant, Ultra-thin film

抗大气压的超薄窗

X-ray take-off angle

取出角 35°（WD：10mm）

Cooling

制冷方法 Peltier cooling

Standard Function Built in

标准搭载功能 Qualitative Analysis 定性分析

Quantitative Analysis 定量分析

Active Mapping 活区面分析

Point Analysis   点分析

Probe Tracking 束流追踪