AWM5000系列微桥气体质量流量传感器

AWM5000系列微桥气体质量流量传感器

常用型号：

AWM5101

AWM5102

AWM5103

AWM5104

描述 ：

在线流量测量 AWM5000 系列微桥气体质量流量传感器采用文丘里管式外壳，可测量流速高达 20SLPM，且引发的压降不超过 2.25

英寸水柱。微桥芯片直接接触气流，*地降低了由于通孔或旁路堵塞而引起误差的可能性。

封装坚固通用坚固的塑封设计可承受高达 50psi 的共模压力。内部的小型传感元件可经受 100gs 的冲击且对性能无影响。自带

AMP 兼容连接器，在高要求应用场合可实现可靠的连接。

内置信号调理电路每款 AWM5000 传感器均带有涵盖放大、线化、温度补偿、及气体标定功能的电路系统。发热控制电路

和传感桥电路和放大线化电路显示了 AWM5000 系列内置的电路系统。所有型号均可提供 1 至 5 VDC 的线性输出，而无

需考虑流量范围（5、10、15、或 20SLPM）或标定气体（氮气、二氧化碳、一氧化二氮、或氩气）。标定均通过有源激光校准完成。

特点

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线性电压输出

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文丘里管设计

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远程安装功能

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有源激光校准，互换性更高

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多种标定气体类型 ：

- 氩气

- 氮气，或

- 二氧化碳

注 ：

1. 线性度指标适用于 2-* 满量程的气流范围，不适用于 0 SLPM 时零点输出的情况。

2. 在 50 psi 的共模压力下，AWM5000 系列产品每分钟泄露低于 0.1 psi。若安装过程中与流量管相接的配接头发生扭曲，O 型圈与流量管之间的

密封可能会被破坏，从而引发暂时性的泄漏。该种泄漏可能达到 1 psi，也可能仍保持在指标范围内。更换 O 型圈后密封会恢复。约 85% 的泄

漏会在 24 小时内逐渐消除。48 小时内可*恢复。

3. SLPM 即标准公升每分钟流量值，是一种流量单位，其规定标准条件为 0℃ /1 bar ( 水平面 )、50% 相对湿度。

连接器订购指南

注 ：在标定气体相应给定的流量范围内，所有型号均可通过 10 VDC 供电实现 1-5 VDC 的线性输出。

1. 氮气标定同氧气和大气标定。

2. 二氧化碳标定同一氧化二氮标定。