TM3030 型扫描电子显微镜

一、用途

Hitachi TM3030型扫描电子显微镜(SEM)向来被广泛用于生物、材料、化学、物理等各种不同领域的表面观察和分析。但是由于SEM的局限性，使用者需要花费大量时间在样品制备和电镜的操作上。

为此，日立在原有的，已受到广泛好评的TM-1000的技术上，精益求精，研发出结构更紧凑、功能更齐备、操作更简便的TM-3000台式扫描电子显微镜。通过简单的操作，即可达到观察微观世界的目的。

二、

技术规格

项 目

内 容

放大倍率

15X～30,000X(数字放大：2X、4X)

观察模式

标准模式、减轻荷电模式、大束流分析模式

图像模式

形貌像、成份像、阴影像1、阴影像2、凹凸像

电子光学系统

电子枪

预对中发夹型钨灯丝

加速电压

5kV、15kV 、EDX

透镜系统

3级电磁式透镜会聚系统

电位移

±50μm (WD=4.5mm、观察条件：标准模式)

能谱分析位置

WD=10mm, TOA=35°

样品台

样品台控制

2轴手动样品台

样品可移动范围

X：±17.5mm、Y：±17.5mm

*大样品尺寸

直径70mm

*大样品厚度

50mm

检测器

高灵敏4分割半导体背散射电子检测器

真空系统

自动控制系统

全自动气动阀控制系统

*高真空度

1.5×10-5Pa

可变真空度

6~270Pa(22steps)

涡轮分子泵

30L/s 1台

隔膜泵

1m3/h 1台

真空计

1台

自动功能

自动灯丝饱和

已配备

自动电子束设定

已配备

自动电子枪对中

已配备

自动合轴

已配备

自动聚焦、消像散

已配备

自动亮度、对比度

已配备

自动保护功能

带有过电流保护功能、漏电遮断器

计算机控制系统

操作系统

Microsoft Windows® 7

CPU

Intel® CoreTM2 Duo P8700(或与其兼容的PC)

内存容量

2GB以上

接口与端子

USB2.0接口(2个)、网路接口(以太网)

观察

15.4英寸LCD；屏幕分辨率1280×800像素

控制

鼠标、键盘

扫描速度

TV扫描

640×480象素显示，25帧/秒

快速扫描

全屏显示，6.3帧/秒

慢速扫描

全屏显示，1/4/20/40/80秒/帧

640×480像素显示，0.5/2/10/20/40秒/帧

图像数据存储

图像存储像素

640 × 480、1,280 × 960像素

图像数据保存

PC带硬盘及其他记录媒体

图像存储格式

BMP、TIFF、JPEG

图像信息

微标尺、微值、放大倍率、日期、时间、图像编号、注释、观察条件、观察模式、图像模式、工作距离

辅助功能

图像旋转、简单测量、三维动画维护指南

使用环境

室温

15°C ～30°C

相对湿度

40%～70%

电源

单相AC100～240V(*低90V、*高250V) 50/60Hz、3P插座

地线

D类接地，电阻小于100Ω

体积与重量

主机

330(长)×606(宽)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage)

330(长)×630(宽)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage)

隔膜泵

145(长)×256(宽)×217(高)mm、4.5Kg