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Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)
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详细信息
超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列
"Regulus系列"
现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100
"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。
通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.9 nm，Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm，观察性能与现有机型相比提高了20％左右。
此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的良好性能。
*1
Regulus8240/8230/8220
特点
沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的良好性能
与现有机型相比分辨率提高了20％左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
采用污染小、高真空样品仓
运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2
极低着陆电压下高分辨观察
样品：金颗粒
着陆电压：10 V
超高分辨观察
样品：Pt催化剂
加速电压：30 kV
低加速电压下高分辨EDX分析
样品：Sn球
着陆电压：1.5 kV
*2
Regulus8240/8230/8220
规格
*3
减速模式下观察
*4
以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率
Regulus SEM Layout
