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TC WAFER 热电偶晶圆测温仪 温度计量仪器
智测电子,专业致力于计量校验、传感器检测技术,研发生产计量校验仪器设备、检测仪器、传感器等,为用户提供计量、验证、检测解决方案。
公司产品:
如热阻热偶检定系统、环境试验设备校准系统、电工仪表检定系统、灭菌验证系统、纯蒸汽质量测试系统、无线记录仪、校准恒温槽等广泛应用于计量、质检、科教、工业、生物医药等领域。
同时,公司是计量校准、工业测试仪器行业*美国FLUKE公司的核心经销商,美国FLIR热像仪公司*代理商。为用户提供*的测试仪器及计量校准技术信息,助你与世界同步。
旗下机构:
上海智与懋检测仪器设备有限公司
上海市徐汇区漕宝路103号自动化仪表城1206室
合肥智测电子有限公司
合肥市高新区香樟大道168号科技实业园D7栋、D12栋
热电偶晶圆测温仪
TcWafer
热电偶
则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器,可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器,可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布;同时,也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化,例如:升温,降温过程及延迟周期等!(温度的均匀与否,良率)
TC WAFER
是使用特殊加工工艺将耐高温传感器(即TC)镶嵌于晶圆表面特定位置,从而可实现晶圆表面温度实时测量的温度传感器。
TC
(ThermoCouple)为热电偶的简称,Wafer即晶圆。通过TCWafer可获得晶圆特定位置的真实温度测量值以及整体晶圆的温度分布情况;也可用于持续监控在热处理制程中晶圆瞬态温度变化,比如:升温,降温,恒温过程及延迟时间等!(获得炉温温度的均匀性数据,从而控制良率等)。
应用场景
1.
半导体制造厂 Fab,硅片厂,晶圆制造厂
2.
封装测试厂
3. PVD/CVD/RTP/Photo/Furnace/Hot Plate
…
4.
半导体设备制造商
5.
高温工艺设备腔体温度的监控
我们的优势
精度高、交期短、服务响应快。
热电偶晶圆测温仪
热电偶晶圆测温仪 温度计量仪器
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