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SuperViewW1 国产白光干涉仪
深圳市中图仪器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。
中图仪器坚持以技术创新为发展基础,拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队,历经20年的技术积累和发展实践,研发出了基础计量仪器、常规尺寸光学测量仪器、微观尺寸光学测量仪器、大尺寸光学测量仪器、常规尺寸接触式测量仪器、微观尺寸接触式测量仪器、行业应用检测设备等全尺寸链精密仪器及设备,能为客户提供从纳米到百米的精密测量解决方案。
中图仪器的销售和服务网点遍及全国三十多个省、市、自治区,产品远销欧、美、东南亚等海外市场,坚持为客户提供高质量的产品和服务。
中图仪器还将继续专注于精密测量检测技术的发展,自强不息、知难而上、勇于创新,为中国制造技术的快速发展贡献力量!
中图仪器SuperViewW1
国产白光干涉仪
是以白光干涉技术原理,对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
SuperViewW1
国产白光干涉仪
可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
性能参数
型号
W1
光源
白光LED
影像系统
1024×1024
干涉物镜
标配:10×
选配:2.5×、5×、20×、50×、100×
光学ZOOM
标配:0.5×
选配:0.375×、0.75×、1×
标准视场
0.98×0.98㎜(10×物镜,光学ZOOM 0.5×)
XY位移平台
尺寸
320×200㎜
移动范围
140×100㎜
负载
10kg
控制方式
电动
Z轴聚焦
行程
100㎜
控制方式
电动
形貌重复性
0.1nm
粗糙度RMS重复性
0.005nm
台阶测量
准确度
:
0.3%
;
重复性
:
0.08%(1
σ
)
可测样品反射率
0.05%~100
主机尺寸
700×606×920㎜
产品功能
1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
结果组成:
1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;
2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;
3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;
5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;
6、微电子表面分析和MEMS表征。
SuperViewW1白光干涉仪
具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。