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SuperViewW1 三维白光干涉表面形貌仪
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- SuperViewW1
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深圳市中图仪器股份有限公司成立于2005年，致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。
中图仪器坚持以技术创新为发展基础，拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队，历经20年的技术积累和发展实践，研发出了基础计量仪器、常规尺寸光学测量仪器、微观尺寸光学测量仪器、大尺寸光学测量仪器、常规尺寸接触式测量仪器、微观尺寸接触式测量仪器、行业应用检测设备等全尺寸链精密仪器及设备，能为客户提供从纳米到百米的精密测量解决方案。
中图仪器的销售和服务网点遍及全国三十多个省、市、自治区，产品远销欧、美、东南亚等海外市场，坚持为客户提供高质量的产品和服务。
中图仪器还将继续专注于精密测量检测技术的发展，自强不息、知难而上、勇于创新，为中国制造技术的快速发展贡献力量！
详细信息
SuperViewW1
三维白光干涉表面形貌仪
用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，在半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
产品功能
(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；
(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；
(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；
(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；
(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
三维白光干涉表面形貌仪
基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；
几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。
应用领域
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
应用范例：
部分技术指标
型号
W1
光源
白光LED
影像系统
1024×1024
干涉物镜
标配：10×
选配：2.5×;5×;20×;50×;100×
光学ZOOM
标配：0.5×
选配：0.375×;0.75×;1×
物镜塔台
标配：3孔手动
选配：5孔电动
XY位移平台
尺寸
320×200㎜
移动范围
140×100㎜
负载
10kg
控制方式
电动
Z轴聚焦
行程
100㎜
控制方式
电动
Z向扫描范围
10 ㎜
主机尺寸（长×宽×高）
700×606×920㎜
恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。
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