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PDC-36G 等离子清洗机

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封口设备
深圳市科晶智达科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服务于高校、研究院所、企业研发部门的国家技术企业,长期致力于打造安全、高效、智能的实验研发一站式服务平台,为科学研究与产业孵化赋能。 深圳科晶与美国MTI、合肥科晶、沈阳科晶同属MTI-科晶联盟,目前已经搭建辐射的服务网络,精心为科学家们的实验室提供交钥匙工程解决方案。 深圳科晶创立初期主要为半导体、精密光学器件提供洁净存储和安全转移所使用的包装制品,产品包括各种塑料胶盒、膜盒、晶圆盒、海绵盒、花篮等。 公司2008年开始进行材料相关研发设备和锂电池实验设备的开发,经过十多年的积累深圳科晶现已成为新能源和新材料基础研究、小试与中试、测试与评估的整体解决方案规划者和提供者,产品应用涵盖了石墨烯材料、*陶瓷、*纳米材料、锂离子电池、超级电容器、燃料电池、固态电池、钙钛矿太阳能电池、功能薄膜等方向。 主要产品系列:按应用与工艺更新产品系列 ? 材料基础研究实验装备(包括混料、涂覆、镀膜、压制、烧结、切割、研磨、抛光、粉碎、制粉、造粒、熔炼等); ? 电池研发实验制备装备(包括锂离子电池、固态电池、超级电容器、金属空气电池、钠离子电池、液流电池、太阳能电池等制备方案); ? 电池安全测试装备(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等国内标准等); ? 锂离子电池中、小试生产制备全流程系统装备方案,交钥匙工程(包括扣式、柱状、软包、方形铝壳等各种全电池制备方案); ? 燃料电池研发实验制备装备(包括固体氧化物、质子交换膜燃料电池等制备方案); ? 钙钛矿太阳能电池研发实验制备; ? 功能薄膜研发实验设备(包括混料、涂布、辊压/复合、分切、复卷等); ? 高通量材料基因组实验设备(包括配液、配粉、混合分散、压片、烧结、测试表征等); 公司设立了开放的研发实验室和设备体验中心。对于锂电池行业,可实现公斤级别材料制备及电池研发,能接受上门小批量材料验证、定向工艺研究及小量成品电池制备等研发工作。 深圳科晶强大的研发团队支撑了丰富的产品链,针对现有产品具有知识产权的发明和实用新型共40多项(包含PCT和国内发明),并参与行业多项标准制定且获得多个行业协会认可。 本着“精诚合作、创新共赢”的宗旨,深圳科晶先后与清华大学、南开大学、上海交通大学、深圳大学、中航发航材院、溧阳天目湖研究院等十多个高校机构和企业签署产学研合作。与此同时,深圳科晶设立了对外服务的公共试验平台,承接科研人员参观交流与现场测试体验,配备行业的售前技术人员协助研究者充分了解相关工艺和设备,缩短调研考察与决策时间。该实验室平台也可以承接相关工艺试验服务和培训咨询服务,协助细分领域的科研工作者快速掌握产业工艺,从而专注前沿研发。 材料科学是基础科学。纵观人类科技的发展历史,新型材料的发现和应用将带来巨大的产业机遇,而*的实验装备和仪器是为科研和应用保驾护航的重要保障。科晶团队将一如既往秉承“客户为本,技术为导,诚信为基,积极创新”的运营理念 ,竭力为科学研究和科技发展做出贡献。

详细信息

功能特点

结构紧凑、小型化的桌上型仪器;

用各种气体清洗和去除晶片上纳米级有机污染物;

在制膜实验之前预先清洁镀膜基底的优秀工具。清洗后镀膜的质量可以更好;

铰链式门,方便装样;

石英腔的直径是3英寸,在里面可以放入一个石英舟,大清洗一个2英寸的基片;

清洗腔里面的石英管可以拆卸,方便清洗和更换;

使用可调射频电源,可以设置功率为低、中、高级别;低成本、操作安全;

技术参数

主要参数

● 低功率设定:直流680V,10mA,6.8W

● 中功率设定:直流700V,15mA,10.5W

● 高功率设定:直流720V,25mA,18W

● 射频源输出频率:13.56MHz

● 等离子直流电源

● 输入电压:220V,50Hz

等离子腔室

● 直径75mmx长200mm的石英墙体,前盖可以开启

● 高纯度石英腔体,使用寿命比玻璃长

真空计

● 设备标配一个数显电阻真空机用于实时监测清洗仓内的真空度。

可选配件

● 您可以订购额外的石英腔体,用于备用

● 如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PDC-36G等离子清洗机可以与2路混气系统组合(点击下面图片了解详情)

● 您可以订购石英晶片载体来清洁2英寸晶片

真空泵和阀

● 此设备不包含真空泵

● 您可以点击下方图片了解真空泵信息

工作气体

● 多种气体可以用于等离子清洗,例如氮气、氩气、空气、混合气体,主要取决于处理何种材料。

● 可以使用<4%的H2混合惰性气体

● 警示:不能使用可燃性及腐蚀性气体

等离子清洗及刻蚀的方法

外形尺寸

353mm(L)x380mm(W)x225mm (H)

净重

8kg(不含泵)

认证

CE认证

质保期

● 一年保修,终身技术支持。

● 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

● 点击查看售后服务承诺书。

工作原理

等离子清洗机工作原理

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规格类型

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