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主营产品公司介绍
单晶圆清洗设备
:
型号:
CGB-XXXX—XX
系列,品牌:华林嘉业
—CGB
该设备适用于薄晶圆(到
80 µm
)以及符合
SEMI
单晶圆湿法工艺标准的晶圆。采用标准的湿法工艺对硅晶圆片进行清洁、去胶、刻蚀和光刻。全电脑自动控制方式
,
保护脆弱的薄晶圆在工艺流程中不受损毁。
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