起订量:
半导体器件设备-硅片显影定影设备
半导体器件设备-硅片显影定影设备
全自动显影机
型号:
CGB-XXXX—XX
系列,品牌:华林嘉业
—CGB
1
.概述:本设备可用于半导体工艺中对
2
″
~8
″硅片进行显影和定影,该产品技术*、*性强,适用于规模生产。
2
.整台设备材料均为进口。
3
.本设备为双排槽构成,每排
7
槽,各设一套机械手,两排可同时完成相应的工序。
4
.本设备除装片和取片需人工外,其余工艺动作均可自动完成。
5
.每槽装片能力:
50
片
/
批(
2
花篮,
25
片
/
花篮)。
6
.工作区洁净度:
100
级。
7
.槽间工艺转换时间:
Tm ax
≤
3.5S
有需求此方面设备的朋友,咨询:
/ /52112455///
耿彪
。
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