FPD/LSI检查显微镜

ECLIPSE L300反射照明型

ECLIPSE L300N 反射型

ECLIPSE L300ND 透反射两用型

集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统，在亮度、对比度和可操作性能方面都达到的高度，适合于大直径硅片或大型液晶板的高级检查。

zui大观察样品:

ECLIPSE L300 300 mm硅片；ECLIPSE L300D 300 mm硅片； ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。

观察倍率15X～3000X（视目镜和物镜的组合而定）；

使用CFI60光学系统，*消除耀斑影响，对比度更高，成象更加清晰、明亮；

物镜齐焦距为60mm，可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求；

主机刚性高，具有很好的抗振性能，具有防尘、防污染、防静电功能；

光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面，使用方便，即使*操作也不易产生疲劳；

■ 规格

型号

ECLIPSE L300

（反射照明型）

ECLIPSE L300N

（反射照明型）

ECLIPSE L300ND

（透射/反射照明型）

基座

内置12V-100W卤素灯光源；内置用于电动控制器的电源

用于物镜转换器的电动控制器、卤素灯亮度控制、光圈叶片控制器

鼻轮

具备对中功能的电动通用六座物镜转换器

物镜

CFI60系列物镜

照明转换器

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反射/透射切换器

调焦部分

对焦:行程29mm，粗调:12.7mm/转（可扭距调节.带重新对焦机能），

微调:0.1mm/转（以um为单位）

反射照明

12V100W高亮度卤素灯照明装置，孔径光阑（电动.可调心）、视场光阑（固定.带对焦目标），可插入小孔光阑滑块（OPTION），可插入∮25mm滤光片（NCB、ND2、ND4）、起偏器/检偏器，观察方法：明场、暗场、简易偏光、微分干涉、反射荧光（仅用于L300N/L300ND/L200ND）

透射照明

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12W100W高亮度卤素灯

镜筒

L2-TTA超大视场正立调倾式三目镜筒（视角0～30°）

L2-TT2A超大视场正立调倾式三目镜筒（俯角0～30°）

目镜

CFI目镜

载物台

14x12载物台、行程354mmx302mm（透射观察范围：354mmx268mm）

带粗/微动切换功能，微动手轮位置固定

防静电

从1000到10V放电时间在0.2秒以内

耗电

1.2A/90W

尺寸

约360（W）x581（H）x951（D）mm（倾斜角度为10°时）