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STM6 奥林巴斯测量显微镜

型号
STM6

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晶圆清洗机

详细信息

STM6 测量显微镜

产品特点:

• 测量显微镜4种镜体可选: (根据zui小读0.1µm, 3轴,电动调焦有无选择)

• 四种尺寸载物台可选: zui大移动范围150(X)×100(Y)×100(Z)mm

• 结构紧凑, 高机能, 可测量及高倍观察

• 自动聚焦部件可选

• LED照明装置用低运作成本实现明亮、清晰的观察和测定

STM6详细规格:

 

2轴手动

3轴手动

3轴电动

物镜

测量物镜

MM6-OB系列

金相物镜

MPLFLN系列, LMPLFLN系列, MPLFLN-BD系列, LMPLFLN-BD系列

目镜

MM6-OCC10×(带十字线, F.N. 22), MM6-OC10×(F.N. 22

显微镜

镜体

调焦

垂直运动范围

155mm

zui大可容纳试样高度

155mm*1, 100mm *2

Z轴测量范围

---

155mm*1, 100mm *2

粗调对焦速度

---

---

4.8mm/sec

微调对焦速度(可变)

---

---

800µm/400µm/200µm/50µm(手柄旋转一周) 4级

照明器件LED照明

大耗电值10W(白色:用于反射光 绿色:用于透射光)

载物台

行程

MM6C-CS50=X轴:50mm, Y轴:50mm/MM6C-CS100R=X轴:100mm, Y轴:50mm

MM6C-CS100=X轴:100mm, Y轴:100 mm/MM6C-CS150=X轴:150mm, Y轴:100mm

测量精度

50 mm行程: (3+L/50)µm

100 mm行程: (3+2L/100)µm

150 mm行程: (3+3L/150)µm[L: 测量长度(mm)]

示数器

zui低读出能力

0.5µm

0.1µm/0.5µm

0.1µm

能耗

100-120/220-240V~

0.7/0.4A  50/60Hz

100-120/220-240V~1.6/0.8A  50/60Hz

规格尺寸*3

465(长)×437(宽)×596(高)mm

465(长)×437(宽)×592(高) mm

465(长)×437(宽)×696(高) mm

重量*4

约94kg

约95kg

约97kg

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规格类型

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