常规真空干燥中由于真空条件下空气对流传热难以进行，只有依靠热传导的方式给物料提供热能，传热速度慢、效率低，并且温度控制难度大。
微波加热是一种电磁波加热，微波直接作用于物料，使其里外同时被加热，无须通过对流或传导来传递热量，所以加热速度快，干燥效率高，温度控制容易。
微波真空干燥设备是微波能技术与真空技术相结合的一种新型微波能应用设备，它兼备了微波及真空干燥的一系列优点，克服了常规真空干燥周期长、效率低的缺点，在一般物料干燥过程中，可比常规方法提高工效4～10倍。
具有干燥产量高、质量好，加工成本低等优点，微波真空干燥设备是一项集电子学、真空学、机械学、热力学、程控学等多种学科为一体的*产品，是在干燥过程中对物质的物理变化、内外热质交换以及真空条件下水分迁移过程的深入研究的基础上，发展起来的一项新技术、新工艺。
工业化大生产中，有许多物品是不能在高温条件下进行干燥处理的，例如一些药品、化学制品、营养食品以及人参、鹿茸等中草药材，为了保证产品质量，其干燥处理必须在低于100℃或在室温的条件下进行，*气压降低，水的沸点也降低，如在一个大气压（101.3kpa）下，水的沸点是100℃，而在0.073大气压（7.37kpa）下，水的沸点是40℃。在真空条件下，加热物体可使物体内部水分在无升温状态下蒸发。
由于真空条件下空气对流传热难以进行，只有依靠热传导的方式给物料提供热能。常规真空干燥方法传热速度慢，效率低，并且温度控制难度大。微波真空干燥设备微波加热是一种辐射加热，是微波与物料直接发生作用，使其里外同时被加热，无须通过对流或传导来传递热量，所以加热速度快，干燥效率高，温度控制容易。
冷冻微波真空干燥设备在我国面市已有10多年的时间，但多为小型设备。由于生产该种设备的技术难度很大，所以，该种设备一直未得到很好的推广。在生产微波真空冷冻干燥设备的过程中，zui突出的技术难题是低气压气体的放电问题：处于真空状态下的气体，在稀释到一定程度时，在外界加入能量的情况下，会产生高频放电现象。
低气压气体出现高频放电现象，产生的危害是微波能输送不到物料内、微波反射严重、毁坏微波炉的密封窗，继而破坏微波炉内的真空状态。微波真空低温干燥的优点常规的真空干燥设备都采用蒸汽进行加热，需要从里到外进行加热，加热速度慢需要耗费大量的煤，而微波真空干燥设备采用的是电磁波加热，无需传热媒介，直接加热到物体内部，升温速度快，1千瓦的微波能在3-5分钟内将常温下的水加热到100℃，避免了上述缺点，所以速度快、效率高、干燥周期大大缩短，能耗降低。
与常规干燥技术相比可提高工效四倍以上。加热均匀由于微波加热，是从内到外对物料进行同时加热，物料的内外温差很小，不会产生常规加热中出现的内外加热不一致的状况，从而产生膨化的效果，利于粉碎，使干燥质量大大提高。
